シリコンウェハ温度測定用放射温度計

放射温度計

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業務用機材商社一筋で、創業41年。東大阪市商工会議所会員、2005年度IT百選企業。
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シリコンウェハ温度測定用放射温度計/品番 M1241-IR20D6ZLSF-C3 【詳細表示】
商品番号 M1241-IR20D6ZLSF-C3 価 格
シリコンウェハ温度測定用放射温度計M1241-IR20D6ZLSF-C3

シリコンウェハ温度測定用放射温度計
品番 M1241-IR20D6ZLSF-C3
価格は下記をご覧下さい

■特長
●シリコンウェハ測定用の放射温度計です。
●測定波長0.9μm
●測定温度範囲485~1800℃
●高速応答1ms
●0.5mmの小スポット測定を実現
●2点レーザマーカで正確照準





■センサヘッド外形寸法図


■アンプユニット外形寸法図


■取付金具外形寸法(付属品)


■エアパージカラー外形寸法図(オプション)


■冷却ジャケット外形寸法図(オプション)


■内部配線図
センサヘッドのケーブルはあらかじめ配線されています。(3mケーブル)
電源と出力端子にケーブルを接続してご使用ください。


■共通仕様
品番 M1241-IR20D6Zシリーズ
測定温度範囲 485~1800℃(機種による)
測定波長 0.9μm
測定精度 ±(読取値の0.3%+2℃)
(周囲温度23±5℃、放射率1.00、応答時間1秒にて)
再現性 ±(読取値の0.1%+2℃)
応答時間 1ms(90%応答)
測定視野範囲 300:1/100:1(90%応答)
アナログ出力 4-20mA/0~20mA/0-5V/0-10V/熱電対J・K出力切替
信号処理 ピークホールド/バレーホールド/アベレージング
放射率補正 0.100~1.100
使用周囲温度 センサヘッド:-40~85℃
ンプユニット0~85℃(レーザマーカ点灯時は~50℃)
使用周囲湿度 10~95%RH(結露なきこと)
保護構造 IP65(NEMA-4)
材質 センサヘッド:ステンレス
アンプユニット:亜鉛ダイキャスト
センサヘッドアンプ間ケーブル3m
電源電圧 8-36VDC/max.160mA
出力インピーダンス 電流(ループ抵抗500Ω以下)
電圧(負荷インピーダンス100KΩ以上)
熱電対(20Ω)
外形寸法 センサヘッド:φ49.3×100mm(M48×1.5mm)
アンプユニット:89 mm x 70 mm x 30 mm
質量 センサヘッド:約600g
アンプユニット:約420g
センサヘッド取付ナットと取付金具は付属です。
出力ケーブルは3-5mmのシールドケーブル等を別途ご用意ください。
熱電対出力使用時の精度は±2.5℃または±1%
製品改良のため、仕様の一部を予告なく変更する場合があります。ご了承ください。

■タイプ
品番 測定温度範囲 測定視野範囲
M1241-IR20D6ZLSF-C3 485~1050℃ φ7.3mm/1100mmにて
M1241-IR20D6ZLCF2-C3 φ1mm/150mmにて
M1241-IR20D6ZLCF3-C3 φ1.3mm/200mmにて
M1241-IR20D6ZLCF4-C3 φ3mm/450mmにて
M1241-IR20D6ZLFF-C3 φ24mm/3600mmにて
M1241-IR20D6ZHSF-C3 650~1800℃ φ3.7mm/1100mmにて
M1241-IR20D6ZHCF2-C3 φ0.5mm/150mmにて
M1241-IR20D6ZHCF3-C3 φ0.7mm/200mmにて
M1241-IR20D6ZHCF4-C3 φ1.5mm/450mmにて
M1241-IR20D6ZHFF-C3 φ12mm/3600mmにて







■オプション
品  番 品  名
M1241-MH300075 冷却ジャケット
M1241-MH300077 エアパージ
M1241-MH300296 リレーインターフェース

運賃、および消費税は、記載価格には、含まれていません。

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